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HR 90i针对检漏过程中所排空处理的低浓度废氦气进行纯化并循环利用。该设备可将氦回收系统中的高压罐排放的纯度约75%左右的废氦气进行回收提纯后充回低压罐再次使用,以减少生产线氦气的消耗。
整套系统主要采用智能预处理系统、高精度监测及全自动化控制等先进技术,核心纯化器美国和日本进口,具有低能耗、高可靠、全自动、维护成本低 等特点。